天準(zhǔn)科技發(fā)布國內(nèi)首臺40nm明場納米圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備
2024/7/15 11:51:30 來源:中國企業(yè)新聞網(wǎng)
導(dǎo)言:近日,天準(zhǔn)科技參股的蘇州矽行半導(dǎo)體技術(shù)有限公司(下文簡稱"矽行半導(dǎo)體")宣布,公司面向40nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的明場納米圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備TB1500已完成廠內(nèi)驗證,標(biāo)志著國產(chǎn)半導(dǎo)體高端檢測設(shè)備實(shí)現(xiàn)了新的突破。
近日,天準(zhǔn)科技參股的蘇州矽行半導(dǎo)體技術(shù)有限公司(下文簡稱"矽行半導(dǎo)體")宣布,公司面向40nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的明場納米圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備TB1500已完成廠內(nèi)驗證,標(biāo)志著國產(chǎn)半導(dǎo)體高端檢測設(shè)備實(shí)現(xiàn)了新的突破。
這是繼去年8月,天準(zhǔn)科技正式交付面向12英寸晶圓65~90nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的寬波段明場缺陷檢測設(shè)備TB1000不到一年后,再次取得的階段性新進(jìn)展。
高精度明場缺陷檢測設(shè)備的重要性
從整片晶圓到單顆芯片,除了需要耳熟能詳?shù)墓饪虣C(jī)外,還需要擴(kuò)散爐、刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)、薄膜沉積設(shè)備、化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)和清洗機(jī)等一系列必備生產(chǎn)型設(shè)備。
而缺陷檢測設(shè)備作為保證芯片質(zhì)量、降低生產(chǎn)成本,推進(jìn)工藝迭代的重要工具,在芯片生產(chǎn)流程中不可或缺。特別是隨著工藝制程不斷演進(jìn),制造芯片的成本越來越高,檢測設(shè)備的重要性與日俱增。其中,擁有更高檢測精度、更全缺陷類型覆蓋率的明場缺陷檢測設(shè)備備受行業(yè)青睞。
作為國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商的代表,成立于2021年11月的矽行半導(dǎo)體,匯聚了來自國內(nèi)外知名半導(dǎo)體設(shè)備公司、晶圓代工廠、上市公司和研究機(jī)構(gòu)的頂尖人才,專注于高端晶圓缺陷檢測設(shè)備及零部件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,努力填補(bǔ)國產(chǎn)缺陷檢測設(shè)備市場的空白。依托卓越的技術(shù)團(tuán)隊和先進(jìn)的技術(shù)實(shí)力,逐步打破了KLA等外商對缺陷檢測市場的壟斷,為國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展注入了新的活力。
TB1500是矽行半導(dǎo)體最新的研發(fā)成果,核心關(guān)鍵部件全部實(shí)現(xiàn)自主可控,同時采用了先進(jìn)的信號處理算法,有效提高信噪比和檢測靈敏度。為了滿足40nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝制程需求,TB1500提升了光源亮度和感度,增大了物鏡視野和速度,能夠捕捉更小缺陷尺寸。
天準(zhǔn)科技半導(dǎo)體設(shè)備深布局,助推國產(chǎn)半導(dǎo)體行業(yè)突破
此外,天準(zhǔn)科技在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域持續(xù)發(fā)力。全資子公司MueTec研發(fā)的面向12英寸40nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的DaVinci G5設(shè)備,經(jīng)過大量的晶圓實(shí)測數(shù)據(jù)驗證,表現(xiàn)優(yōu)異。與前兩代產(chǎn)品相比,該設(shè)備提升了重復(fù)性、吞吐量和高深寬比套刻標(biāo)記識別能力,將在滿足大規(guī)模生產(chǎn)的需求下,使復(fù)雜芯片圖案的套刻精度檢測成為可能,極大地提高制造效率。
天準(zhǔn)科技致力打造卓越視覺裝備平臺企業(yè),通過自主研發(fā)、海外并購德國MueTec和戰(zhàn)略投資成立矽行公司等多種途徑,強(qiáng)化在半導(dǎo)體檢測設(shè)備領(lǐng)域的布局。據(jù)悉,矽行半導(dǎo)體面向28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的TB2000設(shè)備當(dāng)前進(jìn)展順利,各核心零部件均已完成開發(fā),計劃于2024年底發(fā)布樣機(jī)。
隨著人工智能、大數(shù)據(jù)等技術(shù)的融合與發(fā)展,半導(dǎo)體檢測設(shè)備將趨向更高精度、更高效率和更高智能化的方向演進(jìn)。未來,天準(zhǔn)科技將憑借其技術(shù)創(chuàng)新和戰(zhàn)略布局,繼續(xù)推動技術(shù)和產(chǎn)品升級,力爭在半導(dǎo)體領(lǐng)域成為一流的半導(dǎo)體量測與檢測設(shè)備公司,助力國產(chǎn)半導(dǎo)體行業(yè)突破。
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