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宜特晶圓減薄能力達(dá)1.5mil

2021/1/7 8:53:52 來(lái)源:中國(guó)企業(yè)新聞網(wǎng)

導(dǎo)言:隨5G、物聯(lián)網(wǎng)、電動(dòng)車(chē)蓬勃發(fā)展,對(duì)于低功耗要求越來(lái)越高,功率半導(dǎo)體成為這些產(chǎn)業(yè)勢(shì)不可擋的必備組件。宜特晶圓后端工藝廠的晶圓減薄能力也隨之精進(jìn)。宜特今宣布,晶圓后端工藝廠,通過(guò)客戶肯定,成功開(kāi)發(fā)晶圓減薄達(dá)1.5mil技術(shù),技術(shù)門(mén)坎大突破。

  隨5G、物聯(lián)網(wǎng)、電動(dòng)車(chē)蓬勃發(fā)展,對(duì)于低功耗要求越來(lái)越高,功率半導(dǎo)體成為這些產(chǎn)業(yè)勢(shì)不可擋的必備組件。宜特(TWSE: 3289)晶圓后端工藝廠的晶圓減薄能力也隨之精進(jìn)。宜特今(1/6)宣布,晶圓后端工藝廠(竹科二廠),通過(guò)客戶肯定,成功開(kāi)發(fā)晶圓減薄達(dá)1.5mil(38um)技術(shù),技術(shù)門(mén)坎大突破。同時(shí),為更專注服務(wù)國(guó)際客戶,即日起成立宜錦股份有限公司(Prosperity Power Technology Inc)! 

使用控片測(cè)得2mil、1.5 mil、1.5 mil優(yōu)化條件后的損壞層厚度及TEM分析

  使用控片測(cè)得2mil、1.5 mil、1.5 mil優(yōu)化條件后的損壞層厚度及TEM分析宜特指出,功率半導(dǎo)體進(jìn)行“減薄”,一直都是改善工藝,使得功率組件實(shí)現(xiàn)“低功耗、低輸入阻抗”最直接有效的方式。晶圓減薄除了有效減少后續(xù)封裝材料體積外,還可因降低RDS(on)(導(dǎo)通阻抗)進(jìn)而減少熱能累積效應(yīng),以增加芯片的使用壽命。

  但如何在減薄工藝中降低晶圓厚度,又同時(shí)兼顧晶圓強(qiáng)度,避免破片率居高不下之風(fēng)險(xiǎn)自晶圓減薄最大的風(fēng)險(xiǎn)。

  為解決此風(fēng)險(xiǎn),iST宜特領(lǐng)先業(yè)界,已完成2mil(50um)、1.5mil(38um),甚至到0.4mil(10um)減薄技術(shù)開(kāi)發(fā),iST宜特更藉由特殊的優(yōu)化工藝,在降低晶圓厚度的同時(shí),也兼顧晶圓強(qiáng)度,可將研磨損傷層(Damage layer)降到最低。

  關(guān)于宜特科技

  始創(chuàng)于1994年,iST宜特從 IC 線路除錯(cuò)及修改起家,逐年拓展新服務(wù),包括失效分析、可靠性驗(yàn)證、材料分析等,建構(gòu)完整驗(yàn)證與分析工程平臺(tái)與全方位服務(wù)?腿耗依娮赢a(chǎn)業(yè)上游 IC 設(shè)計(jì)至中下游成品端,并建置車(chē)用電子驗(yàn)證平臺(tái)、高速傳輸信號(hào)測(cè)試。宜特秉持著提供客戶完整解決方案的宗旨,從驗(yàn)證領(lǐng)域,跨入“晶圓后端工藝整合”量產(chǎn)服務(wù)。

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[責(zé)任編輯:姚小冰]
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