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　　碳化硅是典型的第三代半導體材料，應用廣泛，近年來發(fā)展迅速。中國電科產(chǎn)業(yè)基礎研究院（13所）自2004年開始對碳化硅材料、器件進行工藝研究，與國際先進水平同步。經(jīng)過多年的建設和發(fā)展，2017年，4英寸碳化硅電力電子工藝線正式實現(xiàn)批產(chǎn)供貨；為進一步擴充產(chǎn)能、對標國際先進，2019年，產(chǎn)業(yè)基礎研究院（13所）采用改擴建方式完成了碳化硅電力電子6英寸工藝線。

　　截至目前，6英寸碳化硅電力電子工藝線已穩(wěn)定生產(chǎn)供貨。期間通過不斷優(yōu)化產(chǎn)品性能指標，產(chǎn)業(yè)基礎研究院（13所）技術團隊又基于6英寸工藝線完成了第三代薄片工藝碳化硅SBD和第三代碳化硅MOSFET產(chǎn)品開發(fā)，產(chǎn)品指標均可對標國際一線品牌。

　　近年來，電動汽車市場快速增長，其中高壓碳化MOSFET作為電動汽車主逆變器和車載充電器的核心元器件，市場需求量巨大。尤其是用于主逆變器的1200V/100A高壓、大電流碳化硅MOSFET芯片，代表了當前碳化硅電力電子芯片技術的最高水平，全球范圍內具備批量供貨能力的廠家屈指可數(shù)。

　　產(chǎn)業(yè)基礎研究院（13所）經(jīng)過多年的技術積累和艱苦攻關，突破多項關鍵技術，完成了車規(guī)級1200V/100A碳化硅MOSFET芯片產(chǎn)品批量生產(chǎn)，實現(xiàn)了多款產(chǎn)品的系列化，產(chǎn)品品質得到了國內多家車企的認可。

　　2022年，產(chǎn)業(yè)基礎研究院（13所）大力推進碳化硅在電力電子領域運用發(fā)展，全面開啟“碳化硅年”，并深入布局，圍繞“技術突破”和“市場拓展”兩個重點，以現(xiàn)有的6英寸碳化硅工藝線為硬件基礎，同時布局產(chǎn)業(yè)化公司發(fā)展。上半年，產(chǎn)業(yè)基礎研究院（13所）當選河北省半導體產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟理事長單位、河北省第三代半導體產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新聯(lián)合體理事長單位，將牽頭打造河北省SiC產(chǎn)業(yè)鏈。

　　文章來源：中國電子科技集團有限公司